用戶在向供應商開放無塵室時，有以下提示。
一是等級定義模式如下：
(atyμm)
X是無塵室的等級，如100或10000等，Y是0.2μm、0.5μm等粒徑，可重新選擇。這意味著用戶規定無塵室的顆粒含量必須在這些粒徑中達到該等級的限制。這可以減少爭端，以下是幾個例子：
Clas1(0.1μm，0.2μm，0.5μm)
Class100(0.2μm，0.5μm)
Class1002μm，0.5μm)
在Classes100(M3.5)andGreater(Class100，1000，10000...)，一般看一個粒徑。在Classeslessthan100(M3.5)(Class10，1..)，一般要看多少粒徑。
Classx(atyμm)，At-rest。
供應商很清楚，無塵室應在At-rest狀態下進行驗收。
第三個技巧是自定義顆粒濃度上限。一般來說，As-built時，無塵室非常干凈，顆?？刂颇芰y試不容易。此時，可以簡單降低驗收上限，如:
Class1000(0.3μm=10000)，As-built。
Class1000(0.5μm=1000)，As-built。
這樣做的目的是保證無塵室在Operational狀態下，仍有足夠的顆?？刂颇芰?。
以下兩個表是Fed-Std-209E的等級定義，以及ISO-14644的等級定義。
Fed-Std-209E潔凈度定義。
ISO-14644潔凈度定義。
對比以上兩表，我們可以看到。
雖然209E的公制和英制有兩套標準可以互換，但一眼就很難看出它們的相關性。兩個系統放在同一張桌子上，徒然造成混淆。
在兩個表中，0.5mm幾乎出現在每個等級定義中，表示粒徑0.5mm的粒子非常有代表性。
在潔凈度分類上，ISO-14644的范圍比209E更廣，無論是高潔凈度還是低潔凈度。
?32659865??????
在線咨詢 
